摘要：本实用新型提供一种喷淋组件及半导体清洗设备，涉及晶圆清洗领域。该喷淋组件包括摆臂和喷头，喷头包括转向件，转向件可拆卸式连接于摆臂端部；摆臂设置有第一通道，转向件设置有第三通道，第三通道与第一通道连通；转向件绕摆臂端部的轴线可转动，且能固定于所需位置；和/或，喷头还包括调节件，调节件沿俯仰方向可转动地连接于转向件，且能固定于所需角度；调节件设置有第四通道，第四通道与第三通道连通。该喷淋组件包括摆臂、转向件和调节件时，对于药液喷射方向，可以沿圆周方向多角度调节，也可以沿俯仰方向多角度调节，工艺测试验证阶段，即使某一喷射角度不合适，也无需重新进行设计、加工和装配等，能够极大地节省时间，保证工艺测试验证进度。