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发明专利:13实用新型: 6外观设计: 2
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申请号:201910843120.0 公开号:CN110456136A 主分类号:G01R19/00
申请人:深圳市百世达半导体设备有限公司 申请日:2019.09.06 公开日:2019.11.15
发明人:乐卫平;张桂东
摘要:本发明公开了一种射频匹配网络,在获取L/C网络输出的射频交流电时,充分考虑到环境温度对信号采集的影响,恒温采样模块会先对自身所处的环境温度进行调整,以将环境温度调整至预设温度范围内,然后采集L/C网络输出端的射频交流电,以便后续第一处理器根据射频交流电通过所述驱动电路对L/C网络进行阻抗调整,实现L/C网络及负载的网络匹配。可见,由于恒温采样模块实现的是恒温采集,从而保证了自身静态工作点的稳定,使得采样信号不会发生失真,提高了采样信号的采样精度及后续的阻抗匹配精度,提高了射频电源系统的工作效率。本发明还公开了一种射频电源系统,具有与上述射频匹配网络相同的优点。
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申请号:201910843137.6 公开号:CN110473764A 主分类号:H01J37/32
申请人:深圳市百世达半导体设备有限公司 申请日:2019.09.06 公开日:2019.11.19
摘要:本发明公开了一种基于射频电源的阻抗调节方法,利用射频电源的频率对匹配箱中的匹配网络的阻抗影响,具体地,射频电源的频率发生改变时,匹配网络中的电容和电感的阻抗也会发生变化,从而实现对匹配箱的阻抗的调整。此外,调节是否成功通过驻波比来进行判断,在驻波比小于预设匹配阈值时,则说明此时等离子体腔室与匹配箱的阻抗之和与射频电源的阻抗相等。射频电源的频率调节速度快于匹配箱的机械调节速度,满足阻抗随时变化的等离体子负载,提高了阻抗匹配的速度及精度。本发明还公开了一种射频电源系统,具有与上述阻抗调节方法相同的有益效果。
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3:[发明] 一种射频电源
申请号:201910844168.3 公开号:CN110460246A 主分类号:H02M7/04
发明人:乐卫平;张桂东
摘要:本发明公开了一种射频电源,该射频电源中,在对功率调整及阻抗匹配模块输出的射频交流电进行采集时,充分考虑到环境温度对采样的影响,从而设置了恒温采样电路,恒温采样电路将其所处的环境温度保持在预设温度范围内,并采集射频交流电,以便后续根据该射频交流电调整输出至负载的射频交流电,从而尽量减小甚至避免了环境温度对射频交流电的影响,提高了射频交流电的采集精度,也提高了射频电源的输出电源的精度,减少了射频电源的输出电源的调整时间。
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申请号:202111590000.8 公开号:CN114400915A 主分类号:H02M7/5387
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.23 公开日:2022.04.26
摘要:本申请涉及一种双H桥移相变换器,包括第一驱动模块、第二驱动模块、固定相位H桥、可变相位H桥和功率合并模块。第一固定驱动信号和第二固定驱动信号分别通过第一驱动模块转换为第一至四驱动信号,驱动固定相位H桥中的四个开关模块工作。第一可变驱动信号和第二可变驱动信号分别通过第二驱动模块转换为第五至八驱动信号,驱动可变相位H桥中的四个开关模块工作。相对于固定相位H桥的第一固定驱动信号和第二固定驱动信号,改变可变相位H桥的第一和第二可变驱动信号相位,使两个H桥的输出形成相位角,通过功率合并模块就可以移相输出并调节功率大小。每个H桥只承受输出的一半功率,能有效减小开关模块的损耗,有更长的工作寿命。
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申请号:202111600893.X 公开号:CN114518704A 主分类号:G05B11/42
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.24 公开日:2022.05.20
摘要:本申请涉及一种射频阻抗匹配装置和方法,所述射频阻抗匹配装置包括:传感器模块、分数阶控制器、驱动模块以及可变阻抗电路。通过传感器模块检测射频发生装置的射频输出阻抗和可变阻抗电路的当前阻抗,由分数阶控制器计算得到可变阻抗电路的当前误差阻抗,使用分数阶PID控制算法确定可变阻抗电路的调整量,并通过驱动模块驱动可变阻抗电路完成阻抗调整,以使阻抗匹配。分数阶控制器中执行的分数阶PID控制算法中设有积分项分数阶因子和微分项分数阶因子,积分项分数阶因子影响可变阻抗电路阻抗的稳态精度,积分项分数阶因子影响可变阻抗电路阻抗的超调,因此本申请提出的射频阻抗匹配装置,匹配速度更快、匹配精确度也更高。
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申请号:202111615651.8 公开号:CN114441856A 主分类号:G01R27/08
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.27 公开日:2022.05.06
摘要:本发明涉及一种阻抗检测方法、阻抗检测器及系统,所述阻抗检测方法中,通过获取待检测电路的电信号数据;对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据,从而实现对待检测电路的阻抗检测。通过对阻抗处理算法的改进,提高了计算精度,降低了计算量,进而提高了计算效率,同时无需采用传统的成高且体积大的硬件电路,进而能够缩小阻抗检测器的体积,在适用于射频电源应用场合的同时,能更方便的携带测量。
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申请号:202111618347.9 公开号:CN114448376A 主分类号:H03H7/38
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.27 公开日:2022.05.06
摘要:本申请涉及一种阻抗匹配调节方法、装置、射频电源系统和存储介质,采集射频电源系统中的阻抗匹配网络和负载之间的入射波和反射波,获取入射波和反射波之间的幅值差值信号和相角差值信号,根据幅值差值信号和幅值差值信号生成电容控制信号,通过电容控制信号对阻抗匹配网络中的至少一个可调电容的电容值进行调整;其中,阻抗匹配网络为中点连接型的X型阻抗匹配网络,基于调整后的至少一个可调电容,调节阻抗匹配网络的阻抗;通过采用X型阻抗匹配网络,并采取可变电容的方法改变阻抗,调节过程平滑,调节速度快,负载变化范围大,使得负载和阻抗匹配网络的总阻抗与输入阻抗一致,以达到阻抗匹配的目的,进而提高阻抗调节的精度和可靠性。
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申请号:202111618361.9 公开号:CN114400875A 主分类号:H02M1/08
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.27 公开日:2022.04.26
摘要:本发明涉及一种碳化硅MOSFET驱动电路、开关电源及电子设备,所述驱动电路中,第一钳位电路在接收到的第一电压信号为正电压信号时,驱动第一碳化硅MOSFET导通;第一钳位电路在接收到的第一电压信号为负电压信号时,驱动第一碳化硅MOSFET断开;第二驱动电路包括第二补偿电路和第二钳位电路;第二钳位电路在接收到的第二电压信号为正电压信号时,驱动第二碳化硅MOSFET断开;第二钳位电路在接收到的第二电压信号为负电压信号时,驱动第二碳化硅MOSFET导通,能够实现两个碳化硅MOSFET的交替导通,实现碳化硅MOSFET驱动电路能够在兆赫兹级工作,简化了电路结构,且无电压尖峰产生,有效的保护了对门极电压要求较高的碳化硅MOSFET,避免器件损坏。
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申请号:202111640705.6 公开号:CN114499435A 主分类号:H03H7/38
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.29 公开日:2022.05.13
发明人:乐卫平;张桂东
摘要:本申请涉及一种阻抗匹配网络调节方法。所述方法包括:所述阻抗调节网络根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号,生成至少一个控制电压,并将所述控制电压发送至所述阻抗匹配网络,其中,所述入射信号为所述阻抗匹配网络传递至所述负载阻抗的信号,所述反射信号为所述负载阻抗返回至所述阻抗匹配网络的信号;所述阻抗匹配网络根据所述控制电压调节阻抗,得到调节后的匹配阻抗;其中,所述匹配阻抗与所述负载阻抗之和等于所述射频电源的电源阻抗。采用本方法能够通过控制电压来调节阻抗匹配网络的阻抗,无需通过伺服步进电机来改变阻抗匹配网络的阻抗,缩短了阻抗匹配的流程,从而提高阻抗匹配的速度。
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申请号:202111657716.5 公开号:CN114400658A 主分类号:H02J3/00
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.30 公开日:2022.04.26
摘要:本申请提供一种射频电源及其分时多个负载运行的控制方法、装置和设备,该方法包括获取N个开关元件以及分时控制n个负载运行的循环周期T,循环周期T包括N个过渡时间和与N个开关元件对应的开启时间,每个开关元件均与一个负载连接;若电源输出电压的时间小于过渡时间,控制N个开关元件关闭;电源输出电压的时间t处于开关元件的开启时间内,控制对应的开关元件开启,控制其他N‑1个开关元件关闭。该分时多个负载运行的控制方法通过在一个循环周期内交替控制开关元件工作,实现一个电源带动N个负载交替工作,以此实现节省电源的采购成本的目的,解决现有是一个射频装置给一个负载提供电源,多个负载需要多个射频装置,成本高的问题。
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