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发明专利:12实用新型: 1外观设计: 0
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申请号:200580027963.X 公开号:CN101006553 主分类号:H01L21/027(2006.01)I
申请人:株式会社尼康 申请日:2005.12.09 公开日:2007.07.25
发明人:北尚宪
摘要:本发明涉及一种具有下述特性的光学积分器,即,将一对光学构件的相对位置决定误差对照明度分布或照明范围的形状的影响抑制为较小。本发明的光学积分器是自光入射侧依次具备第1光学构件(8a)及第2光学构件(8b)的波阵面分裂型光学积分器(8)。第1光学构件具备在第1方向(Z方向)上具有折射力、且在第2方向(X方向)上无折射力的多个第1入射面(8aa),以及在第1方向上具有折射力、且在第2方向上无折射力的多个第1出射面(8ab)。第2光学构件具备在第2方向上具有折射力、且在1方向上无折射力的多个第2入射面(8ba),以及在第2方向上具有折射力、且在第1方向上无折射力的多个第2出射面(8bb)。
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2:[发明] 曝光装置
申请号:200910129712.2 公开号:CN101526759 主分类号:G03F7/20(2006.01)I
申请人:株式会社尼康 申请日:2004.09.29 公开日:2009.09.09
摘要:本发明提供一种曝光装置,通过将曝光光经由液体照射在基板上而将所述基板曝光,其中,具备:投影光学系统;以及计测装置,具有设置在所述投影光学系统的像面侧的光透过部,以及经由该光透过部而接收通过了所述投影光学系统的曝光光的光接收器,所述计测装置的光接收器,在所述投影光学系统和所述光透过部之间没有液体的状态下,接收通过了所述光透过部以及投影光学系统的曝光光。
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申请号:201180051751.0 公开号:CN103228706A 主分类号:C08G77/06(2006.01)I
申请人:东亚合成株式会社 申请日:2011.12.14 公开日:2013.07.31
摘要:本发明是反应性聚硅氧烷溶液的制造方法,其具备:使含有具有由(甲基)丙烯酰基或氧杂环丁基组成的反应性官能团和硅氧烷键生成基团的有机硅化合物的原料化合物水解共聚缩合,合成由通式(1)所示的反应性聚硅氧烷的缩合工序;将得到的反应性聚硅氧烷溶解于水洗用有机溶剂中的溶解工序;使得到的有机溶液与水接触,从混合液将水层除去的洗净工序,作为水洗用有机溶剂,使用具有羟基、1个大气压下的沸点为110℃以上200℃以下、20℃下的对于水100g的溶解度为10g以下的化合物(例如丙二醇单丁醚、1-戊醇)。
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申请号:201180051763.3 公开号:CN103180369A 主分类号:C08G77/20(2006.01)I
申请人:东亚合成株式会社 申请日:2011.12.14 公开日:2013.06.26
摘要:本发明是溶剂可溶型聚硅氧烷的制造方法,其具有以下的缩合工序:在催化剂的存在下,将包含具有(甲基)丙烯酰基和硅氧烷键生成基团的有机硅化合物(S1)和从四烷氧基硅烷和四卤代硅烷中选择的至少1种的硅化合物(S2)的具有硅氧烷键生成基团的原料化合物水解共聚缩合,合成通式(1)所示的反应性聚硅氧烷,在缩合工序中,以摩尔比(S2)/(S1)成为1.8以下的方式使用有机硅化合物(S1)和硅化合物(S2),缩合工序是在包含有机硅化合物(S1)和水的原料液中慢慢添加硅化合物(S2)和上述催化剂的混合物而进行,边在0.001/分钟~0.3/分钟之间维持硅化合物(S2)的使用量与有机硅化合物(S1)的使用量的摩尔比边添加该混合物。
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申请号:201280042139.1 公开号:CN103764702A 主分类号:C08F299/08(2006.01)I
申请人:东亚合成株式会社 申请日:2012.08.29 公开日:2014.04.30
摘要:本发明涉及耐热冲击性固化物的制造方法,还涉及得到的固化物,该制造方法具有:以特定比例、在酸催化剂的存在下使下述通式(1)~(5)所示的单体共缩聚而得到固化物前体的缩合工序,和使上述固化物前体具有的烯属不饱和键的至少一部分聚合而使固化物前体固化的固化工序。[式(1)~(5)中,(X)为硅氧烷键生成基,R1、R2和R4各自为从氢原子、烷基、芳烷基、环烷基、环芳烷基、芳基和具有烯属不饱和键的基团中选择的基团,R3和R5各自为从氢原子、烷基、芳烷基、环烷基、环芳烷基和芳基中选择的基团,R1、R2和R4中的至少一个为具有烯属不饱和键的基团。]Si(X)4????(1)R1Si(X)3????(2)
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申请号:201380033974.3 公开号:CN104395985A 主分类号:
申请人:株式会社尼康 申请日:2013.04.30 公开日:2015.03.04
发明人:北尚宪
摘要:例如通过遍及光瞳亮度分布的大致整体的离散性微小调制,可靠且迅速地改善光瞳亮度分布。包含:第5工序,使用由第1工序至第4工序构成的评价方法,求出通过形成在照明光瞳上的光瞳亮度分布得到的指标值;第6工序,按单位光瞳区域求出在前面的工序中求出的离散数据中、指标值的单位变化量;第7工序,利用使用单位变化量的改善方法,以使指标值接近目标指标值的方式求出调制后的离散数据;以及第8工序,使用由第1工序至第4工序构成的评价方法,求出与在第7工序中求出的调制后的离散数据对应地得到的指标值,通过重复第6工序至第8工序直到与调制后的离散数据对应地得到的指标值的误差收敛在容许范围内,改善应形成在照明光瞳上的光瞳亮度分布。
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7:[发明] 蓄电装置
申请号:201380045872.3 公开号:CN104602948A 主分类号:
申请人:丰田自动车株式会社 申请日:2013.12.02 公开日:2015.05.06
摘要:蓄电装置包括多个电池(10)、排气通路(S1)和密封板(20)。所述多个电池沿第一方向(x)排列,每个所述电池都包括用于排出所述电池内产生的气体的排气阀(13),每个所述排气阀都设置于所述电池的在第二方向(z)上的第一侧,并且所述第二方向与所述第一方向正交。所述排气通路构造成将从各个所述排气阀排出的气体,沿所述第一方向延伸,并且在所述第一方向上的第一端部处具有开口。所述密封板设置在所述排气通路的在所述第一方向上的第二端部处,在所述密封板的位于所述排气通路侧的表面上包括多个凹部(22),并且由树脂制成。
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申请号:201480007642.2 公开号:CN104981525A 主分类号:
申请人:东亚合成株式会社 申请日:2014.03.24 公开日:2015.10.14
摘要:本发明的活化能射线固化性涂料组合物以特定比例含有下述(A)-(C)成分。(A):有机硅化合物,由相对于通式(1)表示的含(甲基)丙烯酰基的硅化合物(a1)1mol,SiY4(Y为硅氧烷键生成基团)表示的硅化合物(a2)0.3~1.8mol的比例水解缩聚而得。(B):(甲基)丙烯酸酯混合物,由分别由3价以上的脂族多元醇衍生的氨基甲酸酯加合物(b1)和(甲基)丙烯酸酯(b2)构成,氨基甲酸酯加合物(b1)是具有2个以上(甲基)丙烯酰基且具有1个以上羟基的(甲基)丙烯酸酯与多异氰酸酯的加成反应而得,(甲基)丙烯酸酯(b2)是具有3个以上(甲基)丙烯酰基且不具有羟基的(甲基)丙烯酸酯。(C):分子内具有氮原子的自由基聚合性不饱和化合物。
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申请号:201810043569.4 公开号:CN108107685A 主分类号:G03F7/20(2006.01)I
申请人:株式会社尼康 申请日:2013.04.30 公开日:2018.06.01
发明人:北尚宪
摘要:例如通过遍及光瞳亮度分布的大致整体的离散性微小调制,可靠且迅速地改善光瞳亮度分布。包含:第5工序,使用由第1工序至第4工序构成的评价方法,求出通过形成在照明光瞳上的光瞳亮度分布得到的指标值;第6工序,按单位光瞳区域求出在前面的工序中求出的离散数据中、指标值的单位变化量;第7工序,利用使用单位变化量的改善方法,以使指标值接近目标指标值的方式求出调制后的离散数据;以及第8工序,使用由第1工序至第4工序构成的评价方法,求出与在第7工序中求出的调制后的离散数据对应地得到的指标值,通过重复第6工序至第8工序直到与调制后的离散数据对应地得到的指标值的误差收敛在容许范围内,改善应形成在照明光瞳上的光瞳亮度分布。
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申请号:202180103673.8 公开号:CN118284491A 主分类号:B23K26/36
申请人:株式会社 尼康 申请日:2021.10.27 公开日:2024.07.02
摘要:数据生成方法生成用以控制能够通过对物体照射脉冲能量束来对物体进行去除加工的加工装置的控制数据,上述数据生成方法在对测试工件照射脉冲能量束后,测量测试工件的去除加工后的形状,基于测试工件的去除加工前的形状信息及测试工件的去除加工后的形状的测量结果,算出与对测试工件的光侵入长有关的信息,基于与相对于脉冲能量束的照射方向而言的被照射脉冲能量束的物体的各照射目标位置的倾斜度有关的信息及与光侵入长有关的信息,在每个照射目标位置算出对物体照射单位次数的脉冲能量束的情况的物体的单位加工量,且基于每个照射目标位置的目标加工量及每个照射目标位置的单位加工量,算出应对每个照射目标位置照射脉冲能量束的目标次数。
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