摘要：本发明公开了声表面波谐振器，包括压电基板以及位于所述压电基板表面上的叉指换能器，所述压电基板上具有凹陷部并设有用于填充所述凹陷部的减速层，所述减速层与所述叉指换能器的电极接触以降低在接触位置所在区域的声速；所述接触位置在非中心区域。本发明还公开了声表面波谐振器的制造方法。本发明可消减横向模式。

摘要：本发明公开了一种声表面波滤波器、声表面波谐振器及其制造方法，其中，声表面波谐振器包括基板、压电层和叉指换能器，压电层设置在基板上，压电层背离基板的一侧设置有两个反射栅，两个反射栅分别靠近压电层的两端；叉指换能器设置在压电层背离基板的一侧，且设置在两个反射栅之间，叉指换能器的两端分别安装有输入电极和输出电极，叉指换能器包括交错设置的多个叉指电极，基板的下方开设有朝远离压电层方向延伸的声波通道，声波通道的一端呈开口且连通至压电层，另一端呈开放式。本发明通过在基板上对应叉指电极的位置开设声波通道，通过声波通道将纵向波反射回压电层，增强了剪切波能量，从而降低声表面波谐振器的传输损耗。

摘要：本发明公开了一种声表面波滤波器、声表面波谐振器及其制造方法，其中，声表面波谐振器包括基板、压电层和叉指换能器，其中，基板的安装面具有多个间隔排布的凸起，凸起自安装面向远离安装面的方向凸出形成；压电层设置于安装面上，压电层朝向安装面的一侧形成有凹槽，凹槽与凸起数量一致且一一对应设置，伸入压电层背离安装面的一侧设置有两个反射栅，两个反射栅分别靠近压电层的两端；叉指换能器设置在压电层背离基板的一侧，叉指换能器的两端分别安装有输入电极和输出电极。本发明通过在基板上设置凸起，在压电层上设置于凸起对应的凹槽，使得压电材料的晶向由纵向外延转变成横向外延，减少纵向波的形成，从而降低了声表面波谐振器的传输损耗。

摘要：本申请涉及一种声表面波谐振器及其制造方法，声表面波谐振器包括压电层和电极单元，压电层的第一表面上具有中心区域，中心区域上设有声波漫反射区，声波漫反射区向压电层的内部凹陷，电极单元设置在压电层的第一表面上，电极单元包括第一汇流条、平行于第一汇流条的第二汇流条、从第一汇流条向第二汇流条延伸的多条第一电极指，从第二汇流条向第一汇流条延伸的多条第二电极指，第一电极指的端面与中心区域的端面间具有第一距离，第二电极指的端面与中心区域的端面间具有第二距离；本申请的声表面波谐振器，通过在压电层的中心区域上制备声波漫反射区，使声波漫反射区可有效阻断声表面波在孔径方向上的泄露路径，从而达到横模抑制的目的。

摘要：本发明公开了一种滤波器，三维电极声表面波谐振器及其制造方法，包括衬底、第一压电层、第二压电层和叉指换能器，第一压电层连接于衬底的上方，第一压电层上开设有多个槽口朝上的第一凹槽；叉指换能器包括交错设置的多个叉指电极，各叉指电极的下部伸入对应的第一凹槽并与第一凹槽的槽壁抵接；第二压电层盖设于第一压电层及叉指换能器，第二压电层的顶部对应各第二凹槽的位置均形成有向上的凸起。本发明通过第一压电层和第二压电层将叉指换能器包裹，第二压电层对应叉指换能器处形成凸起，从而形成三维电极，叉指换能器与第一压电层和第二压电层的接触紧密，接触面积更大，有效地激发第一和第二压电层，从而提高压电转换的功率，降低了损耗。

摘要：本发明提供了一种声表面波谐振器及其制造方法，叉指换能器包括多个叉指电极以及与所述叉指电极连接的两个汇流条组，每个所述汇流条组中靠近所述叉指电极的所述汇流条与所述叉指电极的法向之间呈角度设置，由此可以抑制横向模态。进一步的，所述叉指电极的端部设置有质量块，由此可以减小叉指电极末端的声速。进一步的，每个所述汇流条组包括至少两个汇流条并且相邻两个所述汇流条相连，从而能够将能量限制在谐振腔体中，抑制能量泄漏，最终极大地提高了Q值。

摘要：一种声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器，所述制造方法包括：在压电基板上形成包括多个叉指电极的叉指换能器，多个叉指电极沿第一方向延伸，且沿第二方向间隔排列，形成叉指换能器包括：在压电基板上形成多个初始叉指电极，且每个初始叉指电极具有第一宽度，每相邻两个初始叉指电极之间具有初始叉指间隙，且具有第一间距；在压电基板上形成多个附加叉指电极，分别与多个初始叉指电极相连，且每个初始叉指间隙的部分被多个附加叉指电极中的一者填充，每个叉指电极包括彼此相连的初始叉指电极和附加叉指电极，每个叉指电极具有第二宽度，每相邻两个叉指电极之间具有第二间距；第二宽度大于第一宽度，且第二间距小于第一间距。

摘要：一种声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器，声表面波谐振器装置包括：叉指换能器，位于压电基板的一侧，且包括多个叉指电极、第一和第二叉指电极引出部，多个叉指电极包括沿第一方向延伸且沿第二方向交替排列的第一叉指电极和第二叉指电极；第一叉指电极位于主体区中，且延伸跨过第一周边区以连接第一叉指电极引出部，第二叉指电极位于主体区中，且延伸跨过第二周边区以连接第二叉指电极引出部；以及杂波抑制结构，包括主体结构和锯齿结构，主体结构沿第二方向连续延伸，且在垂直于压电基板的第三方向上与多个叉指电极交叠，锯齿结构在第一方向上设置于主体结构的远离主体区的一侧，且锯齿结构的至少部分与多个叉指电极在第三方向上交叠。

摘要：一种声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器，声表面波谐振器装置包括：叉指换能器，位于压电基板上，且包括多个叉指电极、第一和第二叉指电极引出部，多个叉指电极包括沿第一方向延伸且沿第二方向交替排列的第一和第二叉指电极；第一和第二叉指电极位于主体区中，且分别延伸跨过第一和第二周边区以连接第一和第二叉指电极引出部；以及导电结构，位于叉指换能器的远离压电基板的一侧，且至少包括主体结构和第一锯齿结构，主体结构沿第二方向连续延伸跨过多个叉指电极，第一锯齿结构在第一方向上位于主体结构的远离周边区的一侧，主体结构的至少部分和第一锯齿结构在垂直于压电基板的第三方向上与多个叉指电极的靠近周边区的末端部分交叠。

摘要：本发明提供一种声表面波谐振器及其制造方法，包括：提供衬底，衬底的表面上形成有压电层；在压电层上形成叉指换能器，其中，叉指换能器包括交叉设置的第一指状电极和第二指状电极，第一指状电极和第二指状电极均包括汇流条和与汇流条连接的多个电极指，多个电极指在第一方向上间隔设置；形成预定目标厚度的温度补偿层覆盖叉指换能器的表面；对温度补偿层的厚度进行修整，以调节声表面波谐振器的频率。本申请通过在形成温度补偿层之后，对温度补偿层的厚度进行修整，从而达到调频的目的，并且该方法的可靠性高。