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发明专利:3实用新型: 1外观设计: 0
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申请号:202111399245.2 公开号:CN114248185A 主分类号:B24B29/02
申请人:深圳赛贝尔自动化设备有限公司 申请日:2021.11.19 公开日:2022.03.29
摘要:本发明实施例公开了一种水冷单面抛光机,包括上磨盘装置和下磨盘装置,上磨盘装置包括上底座、升降座、上磨盘机构和旋转驱动机构,上底座上竖设有滑轨,滑轨上设有滑块,升降座设于滑块上;上底座上设有驱动升降座上下运动的升降驱动机构;上磨盘机构包括治具盘、底盘、调心轴承、法兰盘、转轴管、旋转接头A、气管,下磨盘装置包括内轴管、外轴管、托盘、分水器、旋转接头B、下底座以及下磨盘。本发明采用调心轴承来实现治具盘的万向抛光,使治具盘上不同位置的产品的抛光力度一致;同时采用内外轴管进行进出水,通过旋转接头对接,结构简单,只需要密封旋转接头与内外轴管之间即可。
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申请号:202111399408.7 公开号:CN114161318A 主分类号:B24B55/02
申请人:深圳赛贝尔自动化设备有限公司 申请日:2021.11.19 公开日:2022.03.11
摘要:本发明实施例公开了一种抛光机下磨盘水冷机构,包括下底座、下磨盘、内轴管、外轴管、托盘、分水器、旋转接头,内轴管、外轴管的内部中空,内轴管设于外轴管中间;托盘上设有散热水道,分水器设于托盘中间,分水器连通散热水道的进水口和出水口;下磨盘设于托盘上;旋转接头包含一进一出2个通道;内轴管和外轴管的一端分别和旋转接头的2个通道连通,另一端分别连接分水器,通过分水器分别连通散热水道的进水口和出水口。本发明采用内外轴管进行进出水,通过旋转接头对接,结构简单,只需要密封旋转接头与内外轴管之间即可;长时间后,也不会出现漏水情况。
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申请号:202210049779.0 公开号:CN114633191A 主分类号:B24B29/02
申请人:深圳赛贝尔自动化设备有限公司 申请日:2022.01.17 公开日:2022.06.17
摘要:本发明实施例公开了一种晶圆周抛机及其校正定位方法,所述周抛机包括基座、抛光电机、压紧气缸、第一XZ轴伺服丝杆驱动组件、第二XZ轴伺服丝杆驱动组件,第一、第二XZ轴伺服丝杆驱动组件上分别设有左夹臂和右夹臂,左夹臂和右夹臂分别位于下夹盘的左右两侧,左夹臂底端设有定位部A,右夹臂底端并排设有间隔预设距离的定位部B和定位部C;第一、第二XZ轴伺服丝杆驱动组件上均设有打磨组件,打磨组件包括打磨电机,打磨电机竖直设置,打磨电机的输出轴上设有打磨辊,打磨辊外周对应设有打磨平面以及分别用于打磨上下倒角的上打磨斜面和下打磨斜面。本发明通过三点进行定位,能够始终将晶圆进行居中,校正方便,提升了晶圆的抛光效率。
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