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申请号:202211526771.5 公开号:CN115722467A 主分类号:B08B1/00
申请人:常州瑞择微电子科技有限公司 申请日:2022.12.01 公开日:2023.03.03
发明人:徐飞;王玲
摘要:本发明涉及一种掩模版侧边清洗装置,包括支撑旋转机构、夹紧机构和清洗机构,支撑旋转机构用于支撑掩模版并带动掩模版转动相应角度;夹紧机构用于夹紧掩模版的一对侧边;清洗机构用于在所述夹紧机构夹紧掩模版的一组侧边后清洗所述掩模版的另一对侧边。本发明可以高效地对掩模版侧边进行清洗。
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