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申请号:202180103673.8 公开号:CN118284491A 主分类号:B23K26/36
申请人:株式会社 尼康 申请日:2021.10.27 公开日:2024.07.02
摘要:数据生成方法生成用以控制能够通过对物体照射脉冲能量束来对物体进行去除加工的加工装置的控制数据,上述数据生成方法在对测试工件照射脉冲能量束后,测量测试工件的去除加工后的形状,基于测试工件的去除加工前的形状信息及测试工件的去除加工后的形状的测量结果,算出与对测试工件的光侵入长有关的信息,基于与相对于脉冲能量束的照射方向而言的被照射脉冲能量束的物体的各照射目标位置的倾斜度有关的信息及与光侵入长有关的信息,在每个照射目标位置算出对物体照射单位次数的脉冲能量束的情况的物体的单位加工量,且基于每个照射目标位置的目标加工量及每个照射目标位置的单位加工量,算出应对每个照射目标位置照射脉冲能量束的目标次数。
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