摘要：本发明公开了一种水平轴微机械陀螺，属于陀螺定位设备领域，包括外框和中心检测电极，所述外框通过驱动模态弹性梁与定锚点相连接，所述定锚点安装在金属网织笼上，所述金属网织笼内部设置有驱动反馈电极，所述驱动反馈电极内部设置有驱动电极，所述驱动电极中部设置有驱动腔，所述中心检测电极设置在两个端部检测电极之间，所述外框下方设置有弹性模态横梁，所述端部检测电极和所述中心检测电极设置在内框内部。本发明可以降低转动中的阻尼，提高陀螺的检测精度，本发明在密封状态下工作，减小了空气阻尼，精度更高，本发明同时具有束缚电容的能力，

摘要：本发明公开了一种MEMS传感器悬梁结构，包括底部硅板、顶部硅板，所述底部硅板下表面边缘设置有底部垫脚，所述底部硅板上表面设置有多晶硅层，所述多晶硅层上表面设置有隔离胶，所述隔离胶上表面中部设置有顶柱，所述顶柱上方设置有横梁，所述横梁上方设置有所述顶部硅板，所述顶部硅板上方设置有顶部压板，所述顶部压板一端侧面设置有销柱，所述销柱外侧设置有锁块，所述底部硅板上设置有屏蔽电极，所述多晶硅层上表面边缘设置有振动感应片，所述振动感应片外部设置有外保护膜。有益效果在于：可以加快信号的响应速度，提高所述横梁的强度，延长使用寿命，同时可以对传感器的振动频率和幅度进行检测，方便了解传感器的使用性能。