摘要：本发明属于薄膜特种传感器技术领域，具体涉及一种热流与温度的单点同时测量方法。本发明基于原子层热电堆热流传感器，利用其功能层薄膜电阻值随温度变化而改变，将其视为热电阻传感器，根据测得原子层热流传感器功能层薄膜电阻值的大小来表征其温度。并将功能层薄膜同时作为热流敏感元件和温度敏感元件，实现了温度和热流在同一点的同时测量，通过温度值修正热流特性曲线，使得热流测量更加准确。本发明消除了现有技术使用两种不同传感器时由传感器尺寸、传感器安装位置不同等因素引起的误差，并且薄膜传感器体积小，实际测量位置更加精准。

摘要：本发明属于热流传感器领域，具体涉及一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法。本发明提出的原子层热电堆热流传感器稳定性好；批量制备技术设计思路简单易行，在一英寸以上大面积的倾斜单晶基底上，通过特殊的图形化结构设计，一次性可批量生产上千个小型ALTP热流传感器，易于工业化大批量生产，大大提高工作效率，降低了成本。同时，可切割出包含2m、nm等根功能层线条的阵列样品，便于在测试时，根据不同需求选择不同个数样品进行测试，能够有效应对大热流场的测量需求应用场景，便于形成集成传感器芯片模块，充分发挥微系统可标准化批量化生产的特点，符合当今时代电路发展规律。