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发明专利:14实用新型: 8外观设计: 3
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申请号:201910170755.9 公开号:CN109842320A 主分类号:H02M9/04
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2019.03.07 公开日:2019.06.04
发明人:姚志毅;林伟群
摘要:本发明供:一种大气等离子激发电源,功率因数校正电路、全桥变换器、高压变压器;市电通过功率因数校正电路变成直流电,经全桥变换器逆变成交流电后,经过高压变压器形成大气等离子激发电压;全桥变换器的开关由微控制器产生的PWM信号控制开闭,还包括对高压变压器的输入电流和输出电压进行检测的电流检测电路和电压检测电路,电流检测电路和电压检测电路的输出接所述的微控制器,所述的微控制器根据检测的电压和电流情况产生合适的占空比的PWM信号控制全桥变换器的各开关。本发明中,微控制器利用对电流检测电路和电压检测电路检测高压变压器电流和电压,产生合适的占空比的PWM信号控制全桥变换器的开关,调节输出功率,保证等离子体大气输出稳定。
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申请号:202111590000.8 公开号:CN114400915A 主分类号:H02M7/5387
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.23 公开日:2022.04.26
摘要:本申请涉及一种双H桥移相变换器,包括第一驱动模块、第二驱动模块、固定相位H桥、可变相位H桥和功率合并模块。第一固定驱动信号和第二固定驱动信号分别通过第一驱动模块转换为第一至四驱动信号,驱动固定相位H桥中的四个开关模块工作。第一可变驱动信号和第二可变驱动信号分别通过第二驱动模块转换为第五至八驱动信号,驱动可变相位H桥中的四个开关模块工作。相对于固定相位H桥的第一固定驱动信号和第二固定驱动信号,改变可变相位H桥的第一和第二可变驱动信号相位,使两个H桥的输出形成相位角,通过功率合并模块就可以移相输出并调节功率大小。每个H桥只承受输出的一半功率,能有效减小开关模块的损耗,有更长的工作寿命。
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申请号:202111615651.8 公开号:CN114441856A 主分类号:G01R27/08
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.27 公开日:2022.05.06
摘要:本发明涉及一种阻抗检测方法、阻抗检测器及系统,所述阻抗检测方法中,通过获取待检测电路的电信号数据;对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据,从而实现对待检测电路的阻抗检测。通过对阻抗处理算法的改进,提高了计算精度,降低了计算量,进而提高了计算效率,同时无需采用传统的成高且体积大的硬件电路,进而能够缩小阻抗检测器的体积,在适用于射频电源应用场合的同时,能更方便的携带测量。
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申请号:202111618347.9 公开号:CN114448376A 主分类号:H03H7/38
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.27 公开日:2022.05.06
摘要:本申请涉及一种阻抗匹配调节方法、装置、射频电源系统和存储介质,采集射频电源系统中的阻抗匹配网络和负载之间的入射波和反射波,获取入射波和反射波之间的幅值差值信号和相角差值信号,根据幅值差值信号和幅值差值信号生成电容控制信号,通过电容控制信号对阻抗匹配网络中的至少一个可调电容的电容值进行调整;其中,阻抗匹配网络为中点连接型的X型阻抗匹配网络,基于调整后的至少一个可调电容,调节阻抗匹配网络的阻抗;通过采用X型阻抗匹配网络,并采取可变电容的方法改变阻抗,调节过程平滑,调节速度快,负载变化范围大,使得负载和阻抗匹配网络的总阻抗与输入阻抗一致,以达到阻抗匹配的目的,进而提高阻抗调节的精度和可靠性。
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申请号:202111618361.9 公开号:CN114400875A 主分类号:H02M1/08
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.27 公开日:2022.04.26
摘要:本发明涉及一种碳化硅MOSFET驱动电路、开关电源及电子设备,所述驱动电路中,第一钳位电路在接收到的第一电压信号为正电压信号时,驱动第一碳化硅MOSFET导通;第一钳位电路在接收到的第一电压信号为负电压信号时,驱动第一碳化硅MOSFET断开;第二驱动电路包括第二补偿电路和第二钳位电路;第二钳位电路在接收到的第二电压信号为正电压信号时,驱动第二碳化硅MOSFET断开;第二钳位电路在接收到的第二电压信号为负电压信号时,驱动第二碳化硅MOSFET导通,能够实现两个碳化硅MOSFET的交替导通,实现碳化硅MOSFET驱动电路能够在兆赫兹级工作,简化了电路结构,且无电压尖峰产生,有效的保护了对门极电压要求较高的碳化硅MOSFET,避免器件损坏。
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申请号:202111626688.0 公开号:CN114448387A 主分类号:H03H11/28
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.28 公开日:2022.05.06
摘要:本申请提出一种阻抗匹配的调节的方法及阻抗匹配电路,该方法包括:获取阻抗匹配电路的负载阻抗和源阻抗;根据负载阻抗计算得到输入阻抗;若输入阻抗的电阻值与源阻抗的电阻值的第一差值的绝对值超过第一预设值,和/或,输入阻抗的电抗值与源阻抗的电抗值的第二差值的绝对值超过第二预设值,则输出调节信号以调节阻抗匹配电路中电容和电感接入的数量,使第一差值的绝对值不超过第一预设值且第二差值的绝对值不超过第二预设值。本申请通过计算得到需要接入的电容和电感的数量,并据此来改变阻抗匹配网络中实际电感和电容的接入进而实现阻抗匹配,通过改变电容和电感的接入数量快速精确地实现了电容和电感的可变以及解决了阻抗匹配问题。
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申请号:202111640705.6 公开号:CN114499435A 主分类号:H03H7/38
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.29 公开日:2022.05.13
发明人:乐卫平;张桂东
摘要:本申请涉及一种阻抗匹配网络调节方法。所述方法包括:所述阻抗调节网络根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号,生成至少一个控制电压,并将所述控制电压发送至所述阻抗匹配网络,其中,所述入射信号为所述阻抗匹配网络传递至所述负载阻抗的信号,所述反射信号为所述负载阻抗返回至所述阻抗匹配网络的信号;所述阻抗匹配网络根据所述控制电压调节阻抗,得到调节后的匹配阻抗;其中,所述匹配阻抗与所述负载阻抗之和等于所述射频电源的电源阻抗。采用本方法能够通过控制电压来调节阻抗匹配网络的阻抗,无需通过伺服步进电机来改变阻抗匹配网络的阻抗,缩短了阻抗匹配的流程,从而提高阻抗匹配的速度。
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8:[发明] 一种射频电源
申请号:202111643563.9 公开号:CN114442722A 主分类号:G05F1/625
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.29 公开日:2022.05.06
摘要:本申请提供一种射频电源,包括电源本体以及与电源本体输出端连接的检测模块,检测模块包括与电源本体连接的输出电缆以及与输出电缆连接的电流检测元件和电压检测元件;电流检测元件用于检测输出电缆的电流;电压检测元件,于检测输出电缆的电压。该射频电源通过箝在电源本体上设置具有电流检测元件和电压检测元件实现合并了电流和电压检测,使得检测的电流和电压无延时,采集数据时间的一致性上得到保证,确保得到射频电源输出功率的精度和可靠性。检测模块电路简化,使得该射频电源模块小型化,解决现有电源的电流和电压分别采用两个对应传感器采集,存在采集的电压、电流数据响应时间不同,得到电源输出功率值的精度低和可靠性差的问题。
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申请号:202111657645.9 公开号:CN114465593A 主分类号:H03H7/40
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.30 公开日:2022.05.10
摘要:本申请提出一种双频匹配器的阻抗匹配方法及双频匹配器,该方法包括:获取低频输入端的第一驻波比和高频输入端的第二驻波比;若第一驻波比不满足第一条件,和/或,第二驻波比不满足第二条件,则获取低频输入端的第一阻抗和高频输入端的第二阻抗;获取双频匹配器的负载阻抗;根据第一阻抗、第二阻抗和负载阻抗计算出用于调节双频匹配器中的电容的第一数据;根据第一数据对低频部分中的低频阻抗匹配网络中的电容进行调节,以实现低频部分的阻抗匹配;根据第一数据对高频部分中的高频阻抗匹配网络中的电容进行调节,以实现高频部分的阻抗匹配。本申请实现了自动阻抗匹配。
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申请号:202111657716.5 公开号:CN114400658A 主分类号:H02J3/00
申请人:深圳市恒运昌真空技术有限公司 申请日:2021.12.30 公开日:2022.04.26
摘要:本申请提供一种射频电源及其分时多个负载运行的控制方法、装置和设备,该方法包括获取N个开关元件以及分时控制n个负载运行的循环周期T,循环周期T包括N个过渡时间和与N个开关元件对应的开启时间,每个开关元件均与一个负载连接;若电源输出电压的时间小于过渡时间,控制N个开关元件关闭;电源输出电压的时间t处于开关元件的开启时间内,控制对应的开关元件开启,控制其他N‑1个开关元件关闭。该分时多个负载运行的控制方法通过在一个循环周期内交替控制开关元件工作,实现一个电源带动N个负载交替工作,以此实现节省电源的采购成本的目的,解决现有是一个射频装置给一个负载提供电源,多个负载需要多个射频装置,成本高的问题。
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