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发明专利:216实用新型: 17外观设计: 4
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1:[发明] 喷射泵
申请号:200680004246.X 公开号:CN101124410 主分类号:F04F5/00(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2006.01.12 公开日:2008.02.13
发明人:G·亨特利
摘要:一种喷射泵(100)包括具有气体混合部分(108)和扩散部分(112)的腔室。入口(108)用于将气体射流输送到气体混合部分,并且出口(114)用于将气体射流输送离开扩散部分。为了提供用于泵的动力流体,等离子射流流经由喷嘴(116)喷射到腔室的气体混合部分(108)内。包含在等离子射流内的反应物质与气体射流的组分反应,以便提供气体射流的同时泵送和去除。
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2:[发明] 收集装置
申请号:200680006651.5 公开号:CN101133185 主分类号:C23C16/44(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2006.02.10 公开日:2008.02.27
摘要:一种收集装置(18),用于从由真空泵从封闭容器中抽出的气流中除去物质。该收集装置包括壳体(28),该壳体具有连接到封闭容器并用于从该封闭容器接收气流的入口(16)和连接到真空泵并用于将气流排出壳体的出口(20)。多个管筒中的每个管筒通过壳体(28)上的相应开口(36)而被可拆卸地插入壳体中,并且在其入口和出口之间为流过壳体的气流提供了相应的流动通道,每个管筒中容纳有去除装置,该去除装置用于从通过管筒的气体中除去物质,并使之形成为固体材料收集在管筒中。
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申请号:200680009250.5 公开号:CN101184921 主分类号:F04C23/00(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2006.01.23 公开日:2008.05.21
发明人:S·H·布鲁斯
摘要:一种将容器抽真空的泵系统包括泵机构(30)、驱动该泵机构的电机(32)、和控制该电机的控制器(36)。该控制器设定电机旋转频率的最大值和电机中电流的最大值,以便优化泵系统的性能,在将容器抽真空的过程中独立地调节该最大值。
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申请号:200680009359.9 公开号:CN101155634 主分类号:B01J19/20(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2006.03.13 公开日:2008.04.02
摘要:本发明描述了一种处理含有硅烷或其它含硅气体的气流的方法。在该方法中,该气流传送到液环泵或螺杆机构泵。同时提供用于在该泵内氧化该含硅气体的氧化剂,以及用于在该泵内形成液环或用于间歇性冲刷的液体。包含有该液体以及该含硅气体氧化副产品的液体流从该泵排出。
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申请号:200680014635.0 公开号:CN101166902 主分类号:F04C18/12(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2006.04.13 公开日:2008.04.23
发明人:S·H·布鲁斯
摘要:一种泵抽系统,包括泵抽机构(30);用于驱动该泵抽机构的马达(32);用于给该马达供应变频电源的装置(40);用于在该马达内为电流设定最大值的控制装置(42;52);以及用于给该控制装置供应数据的装置(44,46),该数据代表从该泵抽机构排出的气体的温度以及该泵抽机构的该定子的温度。其中该控制装置(42;52)配置为使用该接收到的数据,以便在该泵抽系统运行过程中调节该最大值。这可以防止在该泵抽系统运行过程中该泵抽机构的转子与定子之间的碰撞。
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6:[发明] 气体燃烧设备
申请号:200680015267.1 公开号:CN101171455 主分类号:F23G7/06(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2006.04.28 公开日:2008.04.30
摘要:描述了燃烧氨的方法,其中将包含变化的量的至少氨和氢的废气从室输送到连接到燃烧室(36)的燃烧喷嘴(34)。向室供给燃气以在室内形成燃烧火焰。取决于从室排放的氨和氢的相对量向废气添加氢,使得当废气包含氨时被火焰燃烧的气体包含至少预先确定的量的氢。
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7:[发明] 气体燃烧设备
申请号:200680017049.1 公开号:CN101175949 主分类号:F23G7/06(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2006.05.03 公开日:2008.05.07
摘要:描述了用于燃烧从多个处理室输出的废气的设备。设备包括连接到燃烧室(24)的多个废气燃烧喷嘴(22)。每个喷嘴接收各废气(26)且包括用于接收燃料(40)和氧化剂(30)的装置以用于在室内形成燃烧火焰。控制器接收代表了供给到每个喷嘴的废气的化学组成的数据,且响应于接收的数据调整供给到每个喷嘴的燃料和氧化剂的相对量。这可以使得每个燃烧火焰的属性能根据待由此火焰销毁的废气的属性而选择地修改,因此提高了废气的销毁率效率且优化了燃料消耗。
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8:[发明] 真空泵
申请号:200680019962.5 公开号:CN101189436 主分类号:F04D19/04(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2006.05.26 公开日:2008.05.28
摘要:一种涡轮分子真空泵(54),其包括壳体(70)和转子(52),转子(52)由轴承布置(64)支承以便相对壳体(70)转动。轴承布置(64)包括由弹性支承件(80)以径向方向和轴向方向支承的轴承(72、74、76、78),弹性支承件(80)包括由多个柔性构件(84)连接的内环形部(86)和外环形部(88),弹性支承件(80)具有处于50牛顿/毫米至500牛顿/毫米范围内的径向刚度。
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申请号:200680026770.7 公开号:CN101227955 主分类号:A62C4/02(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2006.07.17 公开日:2008.07.23
发明人:C·M·贝利
摘要:本发明提供了用于阻止由抽吸机构点火的火焰锋的传播的设备和方法,该抽吸机构从处理腔室中抽取废流。该设备包括前级管道,该前级管道用于将从处理腔室抽取的废流运送给抽吸机构。该前级管道包括隔离阀和旁路,该隔离阀用于选择性地将抽吸机构与处理腔室隔离,旁路设置在隔离阀周围。该设备还包括用于启动该隔离阀的控制器。该控制器构造成使在最初从处理腔室抽取废流时将隔离阀关闭。在通过旁路将废流运送给抽吸机构期间,旁路包括用于阻止穿过该旁路的火焰锋的传播的装置。该控制器还构造成在已将位于隔离阀的上游的区域内的压力降低到一个值以下时将隔离阀打开,可在这个值维持废流内的火焰锋的传播。
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申请号:200680026836.2 公开号:CN101248226 主分类号:D01F9/127(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2006.07.06 公开日:2008.08.20
摘要:一种用于生产纳米结构的方法,包括以下步骤:使包含所述纳米结构的组分的气体到达一个或多个中空阴极反应器以便形成所述纳米结构、收集所述纳米结构且随后通过使排出气体与氧化气体一起通过一个或多个中空阴极反应器而从所述排出气体中去除副产物。
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