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申请号:201980070423.1 公开号:CN112930241A 主分类号:B23K26/00
申请人:株式会社尼康 申请日:2019.10.31 公开日:2021.06.08
摘要:加工系统包括:框体,收容物体;加工装置,设于框体内,对物体进行加工;测量装置,设于框体内,对通过加工装置进行了加工的物体进行测量;以及控制装置,使用物体的测量结果来设定加工条件。
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申请号:201980071312.2 公开号:CN112930242A 主分类号:B23K26/00
申请人:株式会社尼康 申请日:2019.10.31 公开日:2021.06.08
摘要:加工系统包括:照射光学系统,将来自光源的能量射束照射至物体;物体载置装置,载置物体;受光装置,设于物体载置装置,接受来自照射光学系统的能量射束;以及测量装置,对所述受光装置以及与所述受光装置相关的部位的位置中的至少一者进行测量。加工系统使物体载置装置移动至受光装置可接受能量射束的位置,并且使物体载置装置移动至可由测量装置来对受光装置的位置进行测量的位置。进而,加工系统使用与受光装置接受能量射束时的物体载置装置的位置相关的第一信息、及与使用测量装置来测量受光装置时的物体载置装置的位置相关的第二信息,来控制由加工装置进行加工时的物体载置装置的位置、与由测量装置进行测量时的物体载置装置的位置。
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申请号:202080099822.3 公开号:CN115427184A 主分类号:B23K26/00
申请人:株式会社尼康 申请日:2020.04.15 公开日:2022.12.02
摘要:加工系统对物体照射能量射束来加工物体,所述加工系统包括:载置装置,载置物体;照射装置,对物体照射能量射束;以及受光装置,具有射束通过构件及受光部,所述射束通过构件具有使能量射束衰减的衰减区域与使能量射束通过的多个通过区域,所述受光部接收通过了多个通过区域的能量射束。
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4:[发明] 加工系统
申请号:202311168921.4 公开号:CN117245209A 主分类号:B23K26/03
申请人:株式会社尼康 申请日:2019.10.31 公开日:2023.12.19
摘要:提高物体加工的便利性及性能的加工系统。加工系统,对物体进行加工,包括:载置装置,载置所述物体;加工装置,对载置于所述载置装置的所述物体照射加工光而进行加工;测量装置,执行测量操作而对载置于所述载置装置的的基准构件进行测量;以及控制装置,基于测量所述基准构件的测量结果来获取信息,所述信息包括与所述载置装置和所述测量装置之间的姿态关系相关的信息,并且基于所获取的所述信息来控制所述加工装置。
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5:[发明] 加工系统
申请号:202311168924.8 公开号:CN117182292A 主分类号:B23K26/03
申请人:株式会社尼康 申请日:2019.10.31 公开日:2023.12.08
摘要:提高物体加工的便利性及性能的加工系统。加工系统使用加工光来加工物体,包括:载置装置,载置所述物体;加工装置,使用所述加工光对载置于所述载置装置的所述物体进行加工;以及检测装置,配置于所述载置装置,检测所述加工光。
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申请号:202311168926.7 公开号:CN117226248A 主分类号:B23K26/00
申请人:株式会社尼康 申请日:2019.10.31 公开日:2023.12.15
摘要:提高物体加工的便利性及性能的加工系统以及测量系统。加工系统对物体进行加工,包括:载置装置,载置所述物体;加工装置,对载置于所述载置装置的所述物体照射加工光而进行加工;以及测量装置,其中所述加工系统以所述物体作为第一物体,在加工所述第一物体之前,将来自所述加工装置的加工光照射到放置在载置于所述载置装置上的第二物体上,所述加工系统使用测量装置测量被加工光照射的载置于所述载置装置上的所述第二物体,所述加工系统基于所述第二物体的测量结果,对使用加工装置而进行的载置于所述载置装置上的所述第一物体的加工进行控制。
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申请号:202311295054.0 公开号:CN117123911A 主分类号:B23K26/00
申请人:株式会社尼康 申请日:2018.10.25 公开日:2023.11.28
摘要:本发明提供一种加工装置及加工方法,可适当地对物体形成构造。加工装置(1)包括:光照射装置(11),对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL);及间隔壁构件(132),包围包含使加工光通过的光照射装置的光学系统(112)中位于最靠物体侧的光学构件(1123)与物体的表面的一部分的空间。
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申请号:202311295330.3 公开号:CN117086469A 主分类号:B23K26/00
申请人:株式会社尼康 申请日:2018.10.25 公开日:2023.11.21
摘要:本发明提供一种加工装置及加工方法,可适当地对物体形成构造。加工装置(1)包括:光照射装置(11),对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL);及间隔壁构件(132),包围包含使加工光通过的光照射装置的光学系统(112)中位于最靠物体侧的光学构件(1123)与物体的表面的一部分的空间。
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申请号:202410540060.6 公开号:CN118237728A 主分类号:B23K26/00
申请人:株式会社尼康 申请日:2019.10.31 公开日:2024.06.25
摘要:提高物体加工的便利性及性能的加工装置及加工系统。加工系统包括:框体,收容物体;加工装置,设于框体内,对物体进行加工;测量装置,设于框体内,对通过加工装置进行了加工的物体进行测量;以及控制装置,使用物体的测量结果来设定加工条件。
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申请号:202410540065.9 公开号:CN118237729A 主分类号:B23K26/00
申请人:株式会社尼康 申请日:2019.10.31 公开日:2024.06.25
摘要:提高物体加工的便利性及性能的加工系统及加工方法。加工系统包括:框体,收容物体;加工装置,设于框体内,对物体进行加工;测量装置,设于框体内,对通过加工装置进行了加工的物体进行测量;以及控制装置,使用物体的测量结果来设定加工条件。
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