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1:
[发明]
压环机构及半导体加工设备
申请号:
201410555654.0
公开号:CN105575873A 主分类号:
申请人:
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日:2014.10.15 公开日:2016.05.11
发明人:
郭浩
;
杨敬山
;
侯珏
;
郑金果
;
赵梦欣
;
陈鹏
摘要:本发明提供的压环机构及半导体加工设备,包括用于将被加工工件固定在基座上的压环,在压环内沿其周向环绕设置有环形通道;通过向该环形通道输送冷却介质,而实现对压环进行冷却。本发明提供的压环机构,其可以避免因温度过高而导致被加工工件损坏,从而可以提高良品率。
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2:
[发明]
沉积组件及半导体加工设备
申请号:
201410805258.9
公开号:CN105779960A 主分类号:C23C14/50(2006.01)I
申请人:
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日:2014.12.19 公开日:2016.07.20
发明人:
郭浩
;
侯珏
;
郑金果
;
杨敬山
;
赵梦欣
;
陈鹏
摘要:本发明提供的沉积组件及半导体加工设备,用于将晶片传递并固定在基座上,该基座通过作升降运动上升至工艺位置,或者下降至装卸位置;沉积组件包括沉积环、卡环和至少三个顶针,其中,至少三个顶针沿基座的周向分布,且在基座位于装卸位置时,至少三个顶针通过作升降运动贯穿沉积环,而使至少三个顶针的顶端所在平面高于或低于基座上表面;并且,在每个顶针的用于支撑晶片的承载面上设置有定位凸部,定位凸部用于在顶针支撑所述晶片时,阻挡该晶片沿其径向移动。本发明提供的沉积组件,其不仅可以限定晶片在顶针上的径向位置,而且还可以降低基座的加工难度,并避免因在基座上加工通孔而对基座冷却晶片的均匀性产生的不良影响。
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3:
[发明]
基于可用容量一致性的带约束等值方法
申请号:
201510613647.6
公开号:CN105226644A 主分类号:
申请人:
重庆大学
申请日:2015.09.23 公开日:2016.01.06
发明人:
余娟
;
刘珏麟
;
赵霞
;
颜伟
;
代伟
;
杨梦帆
摘要:本发明提供了基于可用容量一致性的带约束等值方法,方法实现的过程如下,首先输入等值前的互联电网基本数据,采用最优潮流方法计算获得等值前外网可用容量,然后通过潮流及灵敏度一致性的静态等值方法建立等值网络,并计算等值网络参数,保持等值前后可用容量不变,最后推导得到等值网络的约束条件。全面考虑外网电源的功率约束、电压约束及支路和网络的功率传输能量约束,采用最优潮流方法计算外网边界节点及边界截面的可用容量,基于等值前后可用容量一致性推导等值约束条件,有效提高等值约束计算的准确性。同时为最优潮流分析、电压稳定等计算的准确性和有效性提供全面合理的外网等值参数和等值约束条件,确保互联电网的安全稳定经济运行。
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4:
[发明]
基于潮流、灵敏度及约束一致性等值的互联电网最优潮流计算方法
申请号:
201510617577.1
公开号:CN105184418A 主分类号:
申请人:
重庆大学
申请日:2015.09.23 公开日:2015.12.23
发明人:
余娟
;
刘珏麟
;
赵霞
;
颜伟
;
杨梦帆
;
代伟
摘要:本发明提供了基于潮流、灵敏度及约束一致性等值的互联电网最优潮流计算方法,首先采用最优潮流方法计算获得等值前外网可用容量,然后在满足潮流和灵敏度一致性的等值网络的基础上,保持等值前后可用容量不变,同时约束信息不变,推导等值网络的约束条件,基于等值后的网络和约束条件,建立新的最优潮流模型。本发明方法采用最优潮流方法计算外网边界节点及边界截面的可用容量,基于等值前后可用容量一致性推导等值约束条件,有效提高等值约束计算的准确性。本发明方法的计算精度高于现有不考虑约束的最优潮流计算方法,能够很好地模拟实际外网的运行情况,向内网提供适当的功率支撑,以保证互联电网的安全稳定经济运行。
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5:
[发明]
压环及半导体加工设备
申请号:
201510925349.0
公开号:CN106876316A 主分类号:H01L21/687(2006.01)I
申请人:
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日:2015.12.14 公开日:2017.06.20
发明人:
郭浩
;
赵梦欣
;
郑金果
;
侯珏
;
荣延栋
摘要:本发明提供的压环及半导体加工设备,其包括相互嵌套、且连为一体的外环部和内环部,其中,外环部的内径大于晶片的直径;在内环部的内径小于晶片的直径,且内环部的下表面被划分为多个第一区域和多个第二区域,第一区域和第二区域沿内环部的周向相间排布,其中,第一区域与晶片上表面的边缘区域相贴合;在第二区域形成有凹槽,以使内环部在该第二区域处遮挡晶片上表面的边缘区域,且不与之相接触。本发明提供的压环,其可以解决晶片的侧面或背面沉积有金属镀膜的问题,从而可以改善工艺结果。
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6:
[发明]
生何首乌的HPLC指纹图谱检测方法
申请号:
201610490084.0
公开号:CN105938125A 主分类号:G01N30/02(2006.01)I
申请人:
成都中医药大学
申请日:2016.06.27 公开日:2016.09.14
发明人:
李芸霞
;
龚小红
;
彭成
;
党珏
;
赵梦杰
;
赵梦君
;
罗林
;
袁岸
;
李燕
摘要:本发明公开了生何首乌的HPLC指纹图谱检测方法,它包括以下步骤:(1)对照品溶液的制备;(2)参照物溶液的制备:(3)对照指纹图谱的建立:(4)供试品溶液的制备;(5)供试品溶液的检测。本发明的指纹图谱出峰多,分离度良好,重复性好,精密度高,为全面监控生何首乌质量提供了有效保障。利用本发明指纹图谱检测方法的提取方法和色谱条件,还可以测得生何首乌中16种成分的含量,从而可以从更多的角度来控制生何首乌的质量。
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7:
[发明]
磁控管旋转结构、磁控管组件及反应腔室
申请号:
201710354815.3
公开号:CN108950499A 主分类号:C23C14/35(2006.01)I
申请人:
北京北方华创微电子装备有限公司
申请日:2017.05.18 公开日:2018.12.07
发明人:
佘清
;
魏景峰
;
赵梦欣
;
侯珏
摘要:本发明提供一种磁控管旋转结构,第一旋转臂,其上设置有第一旋转轴和第二旋转轴;所述第一旋转轴,与驱动源相连,用以在驱动源的驱动下旋转并带动所述第一旋转臂旋转;所述第一旋转轴通过传动组件与所述第二旋转轴相连,所述传动组件用以在所述第一旋转轴旋转时带动所述第二旋转轴旋转;第二旋转臂,与所述第二旋转轴连接且其上固定有磁控管;限位件,用于在所述第一旋转轴沿第一方向和第二方向旋转时限制所述第二旋转臂相对所述第一旋转臂的位置,以使所述磁控管沿不同的第一轨道和第二轨道旋转。本发明还提供一种磁控管组件及反应腔室。本发明不仅结构简单,且使得工艺过程简单、容易实现。
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8:
[发明]
磁控管驱动机构、磁控源和磁控溅射设备
申请号:
201810167808.7
公开号:CN110205592A 主分类号:C23C14/35
申请人:
北京北方华创微电子装备有限公司
申请日:2018.02.28 公开日:2019.09.06
发明人:
魏景峰
;
佘清
;
赵梦欣
;
侯珏
摘要:本发明公开了一种磁控管驱动机构、磁控源和磁控溅射设备。磁控管驱动机构包括导轨、移动件、升降组件和旋转组件;移动件设置在所述导轨上且能沿所述导轨往复移动,用于与磁控管连接;升降组件与所述移动件连接,并能够作往复移动,以带动所述移动件在所述导轨上移动,以使得所述磁控管对应于靶材的不同区域;旋转组件与所述导轨连接,所述旋转组件能够转动,以驱动对应于靶材的不同区域处的磁控管绕靶材的中心轴转动。通过合理地控制升降组件的移动行程以及合理地控制旋转组件的转速,可以使得靶材的任意区域处得到均匀的腐蚀,从而可以实现全靶腐蚀,进而可以提高产品的工艺制作良率,降低产品制作成本。
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9:
[发明]
一种基于分段图卷积网络的视频动作识别方法
申请号:
202210673157.5
公开号:CN115205963A 主分类号:G06V40/20
申请人:
郑州信息科技职业学院
申请日:2022.06.15 公开日:2022.10.18
发明人:
张争
;
王珏
;
赵辉
;
王宇
;
丁肖摇
;
刘梦
;
李涛
摘要:本发明公开了一种基于分段图卷积网络的视频动作识别方法,包括以下步骤:A:获取每个视频段中的帧样本图像并进行图像增强;B:提取图像增强后的每个帧样本图像的外观特征和运动特征;C:构建基于每个视频段的特征关联图与时序一致性图及对应的关系连接矩阵;D:通过图卷积神经网络对输出特征进行增强得到输出特征;E:将输出特征与池化后的原始特征进行融合得到最终的时空特征;F:利用中期融合模型和后期融合模型进行动作,对分段识别的结果取平均值,得到待识别视频的动作识别结果。本发明能够提高视频动作的识别准确性。
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10:
[发明]
用于星载时间触发网络时间同步的同步客户端
申请号:
202310279351.X
公开号:CN116436554A 主分类号:H04J3/06
申请人:
上海航天测控通信研究所
申请日:2023.03.21 公开日:2023.07.14
发明人:
朱浩文
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关宁
;
赵梦
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张瑞珏
;
罗鹏
摘要:本发明公开了一种用于星载时间触发网络时间同步的同步客户端,包括:时间同步客户端IP核,集成于可编程逻辑器件中;时间同步客户端IP核包括顶层模块和多个子功能模块,顶层模块与多个子功能模块通信连接,顶层模块包括PSYNC模块,完成IP核与外部信号的接口连接以及IP核内部各子功能模块的信号互连处理,通过调用各子功能模块完成对同步客户端的同步;子功能模块包括:FIFO模块、RECV模块、PERM模块、CTRL模块、REG模块,本发明通用架构的设置便于星载实时网络同步客户端功能的实现,实现星载时间触发网络的周期同步性,并具备了同步结团检测、异步结团检测和相关结团检测功能,工程效果好、调试方便,能有效降低设计成本。
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