摘要：本发明公开了一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置，特点是从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体，通过换热设备，与从氯化氢分离塔塔底输出的高温氯硅烷液体进行热交换，从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化，高温氯硅烷温度降低，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。所述的装置包括依次连接的氯化氢冷凝储槽、换热器和除沫器，换热器下方设置有与其相连的氯硅烷贮槽。用尾气回收系统中的热量和冷量进行相互转化，充分利用能量，节省了能源。

摘要：本发明公开了一种多晶硅还原生产工艺，包括步骤：a1、将液态三氯氢硅通过三氯氢硅汽化器汽化得到气态三氯氢硅；a2、与步骤a1同时，将氢气预热得到热氢气；a3、将气态三氯氢硅和热氢气按照氢过量的配比通过静态混合器混合均匀，形成原料混合气；a4、将原料混合气体通过恒温换热器升温并达到恒温状态；a5、将恒温后的混合气送入还原炉。本发明工艺流程能耗低、多晶硅沉积速度高、三氯氢硅一次转化率高。本发明同时公开了一种多晶硅还原生产装置。

摘要：本发明公开了一种多晶硅尾气干法回收系统中热能回收工艺，包括步骤：a1、120～150℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器，对合成解析塔塔釜进行加热；a2、通过旁路阀调节120～150℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器的流量，控制合成解析塔的釜温；a3、经过合成解析塔再沸器换热后的氢化或还原贫液氯硅烷进入冷却器中进行水冷，将氢化或还原贫液氯硅烷降温至30～40℃。本发明实现多晶硅尾气干法回收系统合成解析塔塔釜采用120～150℃氢化或还原贫液氯硅烷作为热源进行塔釜加热，减少了合成尾气热能回收系统蒸汽的消耗，有效的利用了多晶硅尾气干法回收系统中解析后的120～150℃氢化或还原贫液氯硅烷所携带的热量。本发明同时公开了一种多晶硅尾气干法回收中热能回收系统。

摘要：本发明公开了一种氢化尾气、还原尾气热能回收工艺，包括步骤：a1、将80～150℃的尾气通过水冷器与循环水换热降温以后，尾气温度降至40～60℃；a2、40～60℃的尾气与解析出的，由低温-40℃氯化氢液体通过汽化器进行换热，将-40℃氯化氢液体加热成10～20℃氯化氢气体供三氯氢硅合成使用；a3、通过旁路阀调节40～60℃的尾气进入汽化器的流量，控制汽化器中-40℃液态氯化氢的汽化量及汽化器的氯化氢出口温度。本发明实现了对氢化尾气或还原尾气携带的大量热量以及-40℃氯化氢液体携带的大量冷量进行综合利用。本发明同时公开一种氢化尾气、还原尾气热能回收系统。

摘要：本发明涉及多晶硅化学气相沉积(CVD)反应器的节能装置领域，目前性能最好的一体式石英隔热罩，尺寸不易做大，耐压能力差，易碎，产生的热辐射仍然较大，本发明提供的技术方案为隔热罩由两个或多个石英玻璃部件拼接而成，反应器隔热罩总体由所述拼接件的一层或多层套装叠加而成，通过固定件固定在反应器内壁上，在最靠近硅棒的一层石英玻璃上涂覆有背反射膜，本发明显著地降低了热损耗，同时具有硅棒热应力低，硅棒熔芯和棒裂的概率低，温度场均匀，有利于获得大直径硅棒，生产量高，设备易于制造，操作方便，维修容易等有益效果。

摘要：本发明涉及多晶硅生产中尾气分离工艺的节能问题，为了全面降低太阳能光伏产品的成本，使多晶硅产业保持强大的竞争力，本发明提供了一种新的节能的尾气分离技术，先将尾气冷却，对不凝性气体进行升压操作，然后进行一级吸附分离出解析气1，再经二级吸附分离，分离出解析气2，解析气1和解析气2分别进入回收器装置1和回收器装置2，进行反应消耗，分离出高纯氢气，进入氢气反应器，本发明的有益效果是大幅降低了能耗，降低蒸汽消耗80%，冷量使用减少14%，有效降低了生产成本。

摘要：本发明涉及节能技术领域，为了在多晶硅生产中降低成本，节约能源，充分利用尾气中混合氯硅烷，本发明提供的技术方案为从解析塔塔釜采出的100-150℃高温氯硅烷与换热器冷媒进行换热，获得70-115℃等于或稍低于泡点温度的混合氯硅烷，然后分别依次在解析塔压力和循环氯硅烷缓冲罐压力作用下送入循环氯硅烷缓冲罐和精馏塔，进行纯化，本发明避免了从解析塔采出后的过度降温和在精馏塔中再补充加温，节约了能源，降低了生产成本，并且具有节约蒸汽用量20％，及工艺简单，操作容易等有益效果。

摘要：本发明涉及多晶硅生产中物料的处理领域，对于物料氯化氢的干燥问题一直没有得到性能和成本均为理想的工艺方案，本发明基于氯硅烷干燥氯化氢的方法，作了进一步的完善，工艺过程为氯化氢气体与氯硅烷蒸汽在文丘里混合器中进行混合，进入折流板反应罐中进行充分反应，最后通过高效除尘装置过滤氯化氢中的二氧化硅细粉，得到清洁干燥的氯化氢气体，本发明具有工艺简单，设备组成少，操作容易，干燥后的氯化氢含水量可以降到10-50ppm的有益效果。

摘要：本发明涉及工业级四氯化硅的提纯及回收方法，传统的精馏塔提纯方法在质量上难以达到生产白炭黑原料的要求，氯硅烷损失大，管道易堵塞，影响生产顺利进行，本发明提供的技术方案主要为四氯化硅在板式塔中汽化提纯，然后冷凝回收，板式塔排出的废液在氯硅烷蒸发罐中蒸发回收再提纯，少量废渣排出后用碱液中和处理，提纯后的四氯化硅杂质含量保证达到国家标准，氯硅烷能全部回收，并且具有管道不易堵塞，清理劳动量小，工艺简单，辅助设备少，操作容易等有益效果。

摘要：本发明公开一种白炭黑尾气净化回收的方法，包括，净化：对白炭黑尾气过滤，除固体杂质，吸附尾气中的氯化氢和氯气，实现对白炭黑尾气的净化；回收：将被吸附的氯化氢和氯气解析出来，再将氯化氢转化为氯气，实现对氯的回收。本发明还公开一种用于上述方法的白炭黑尾气净化回收装置。本发明可以将白炭黑尾气中的氯转化到氯气中去，从而实现氯回收，不仅可以实现对白炭黑尾气的净化，减少有害气体排放，而且回收产物为氯气，经济价值高，工艺简单，操作方便。