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发明专利:41实用新型: 5外观设计: 0
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申请号:200610020898.4 公开号:CN1851040 主分类号:C23C14/35(2006.01)I
申请人:电子科技大学 申请日:2006.05.25 公开日:2006.10.25
摘要:一种双面超导带材缓冲层的连续制备方法,属于超导材料技术领域,特别涉及超导带材的制备方法。本发明使用一种带有上、下两个转盘的对靶磁控溅射装置,所述溅射装置的上转盘8和下转盘1位于对靶4中心连线的垂直平分线的上下,且分别由一个步进电机控制;并利用对靶磁控溅射工艺沉积缓冲层薄膜,从而制得双面长超导带材缓冲层。使用本发明可以实现高温超导带材缓冲层的快速、连续制备,充分提高了制备效率,同时使用该方法制备出的薄膜两面一致性,单面均匀性好,取向度高,表面平整度高;本发明为工业快速生长第二代高温超导带材氧化物过渡层薄膜提供了良好的实现途径。
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申请号:201110091978.X 公开号:CN102255040A 主分类号:H01L39/24(2006.01)I
申请人:电子科技大学 申请日:2011.04.13 公开日:2011.11.23
摘要:双面超导带材缓冲层的连续制备方法,属于超导材料技术领域。本发明包括下述步骤:1)将基带安装在两个转盘之间;2)将金属钇靶分别安置在对靶上,两个转盘之间的基带平面的法线与相对的对靶上的金属钇靶连线垂直;3)将生长室(9)抽背底真空至5.0×10-4Pa以下,对基带进行加热,使温度保持在600℃~660℃,向生长室内充入氩氢混合气体,并保持2~3Pa,再充入1.2×10-3到2.5×10-3Pa的水蒸气;4)步进电机通过第一转盘或者第二转盘带动基带匀速运动;5)开启辉光,溅射金属钇靶材,在基片上沉积Y2O3薄膜;6)关闭溅射。本发明采用离轴溅射,基带与靶材成90度夹角,提高了双面缓冲层面内外织构。
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申请号:201210200260.4 公开号:CN102751040A 主分类号:H01B12/00(2006.01)I
申请人:电子科技大学 申请日:2012.06.18 公开日:2012.10.24
摘要:高温超导双面带材及制备方法,属于超导材料技术领域。本发明在金属基带的正反两面都设置有过渡层,过渡层以外为超导层,超导层以外为保护层。本发明的有益效果是:本发明的双面缓冲层/超导层结构,在超导带材总厚度几乎不变,并保证单面超导层临界电流密度,使超导带材达到或接近双倍的临界电流,显著提高超导带材的载流能力。
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申请号:201210214199.9 公开号:CN102746025A 主分类号:C04B41/50(2006.01)I
申请人:电子科技大学 申请日:2012.06.27 公开日:2012.10.24
摘要:低成本GaN外延薄膜的制备方法,属于光电薄膜材料制备技术领域,本发明包括下述步骤:(1)无水镓源前驱液制备:将乙酰丙酮镓粉末溶解在乙酸和丙酸的混合溶剂中,Ga离子浓度为0.1-0.4mol/l,溶解过程中加热、搅拌;然后加入体积为混合溶剂总体积二分之一的甲醇,并进行低压蒸馏去除杂质水;然后停止低压蒸馏和加热,仅搅拌;最后加入乙醇胺,形成无水前驱溶液,浓度为0.1-0.3mol/l;(2)前驱液涂覆:将步骤(1)所得前驱溶液旋涂在基片上;(3)热处理:加热后降温直至室温,即可得到GaN薄膜。本发明所需设备简单,制备工艺简单,只需将所配制无水有机前驱溶液涂覆于基片烧结即可,成本低,重复性好。
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申请号:201210369204.3 公开号:CN102863019A 主分类号:C01G23/00(2006.01)I
申请人:电子科技大学 申请日:2012.09.27 公开日:2013.01.09
摘要:尖晶石结构薄膜型钛酸锂负极材料的制备方法,属于能源领域以及新材料领域,本发明包括以下步骤:(1)将乙醇溶剂和水解抑制剂超声混合均匀,按Li:Ti=4:5~4.5:5的原子比加入锂源和钛源,同时进行40-65℃加热、磁力搅拌至完全溶解混合均匀,得到混合溶液;加入体积为混合溶液体积1/4~1/2的甲醇,去除杂质水后加热,然后搅拌;最后加入1-5滴乙醇胺,形成无水前驱溶液;(2)将步骤(1)所得前驱溶液均匀涂覆于基片表面;(3)将表面附着液膜的基片置于管式炉中预烧得到预烧薄膜;(4)将预烧薄膜高温退火处理,气氛为干燥的氧气;退火结束后自然降温直至室温,即可得到尖晶石钛酸锂薄膜。本发明所需设备简单,制备方法简单易行,能够制备出高质量样品。
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申请号:201210370795.6 公开号:CN102899638A 主分类号:C23C16/455(2006.01)I
申请人:电子科技大学 申请日:2012.09.27 公开日:2013.01.30
摘要:用于光辅助金属有机物化学气相沉积的气体喷淋头装置,涉及低压MOCVD领域。本发明包括气体管道,其特征在于,在气体管道上设置有紫外线光源;气体管道上还设置有透光窗口,从紫外光源到管道内部形成通光路径;在气体管道上设置有隔热装置。本发明的有益效果是,有效降低了喷淋头的温度,有效抑制了金属有机源蒸气在喷淋头内壁的反应;同时引入紫外线辐照,使得金属有机源大分子在到达衬底前得以提前分解,加快了反应速率,改善了薄膜质量。
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申请号:201310095507.5 公开号:CN103225204A 主分类号:D06M11/83(2006.01)I
申请人:电子科技大学 申请日:2013.03.22 公开日:2013.07.31
摘要:可穿戴的柔性传感器及制备方法,属于纺织材料领域。本发明包括柔性织物、导电电极层和传感器层,柔性织物的表面设置有阻挡层,阻挡层和导电电极层之间设置有填隙层,阻挡层的材质为金属。本发明的有益效果是,采用较简单的方式可在透气性、柔软性、舒适性好的布料表面实现可穿戴的全方位感应的皮肤感应器,可在较长时间里佩戴这些电子器件,同时又不影响正常的日常活动。
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申请号:201410627994.X 公开号:CN104451609A 主分类号:
申请人:电子科技大学 申请日:2014.11.07 公开日:2015.03.25
摘要:本发明提供了一种非晶YAlO薄膜及其在柔性金属基带上的制备方法,属于电子材料领域。所述非晶YAlO薄膜由氧化钇和氧化铝组成,且氧化钇与氧化铝的摩尔比为(1~10):1。本发明得到的YAlO薄膜为非晶结构,表面粗糙度小于2nm,具有良好的平整度,且结晶温度在1000℃以上,性能稳定。与传统的氧化钇薄膜相比,更适合用于金属基带平坦化的过渡层,可实现在其上生长高质量的功能氧化物薄膜;同时,该薄膜还可以作为阻挡层,可有效阻挡金属基带与功能薄膜之间的互扩散,为实现在柔性金属基带上生长高质量的功能薄膜提供了必要的条件。
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申请号:201610092395.1 公开号:CN105566099A 主分类号:
申请人:电子科技大学 申请日:2016.02.19 公开日:2016.05.11
发明人:陶伯万;陈果;张盼
摘要:本发明涉及一种稳定醋酸钇酒精溶液的制备方法,主要运用于化学工业技术领域和电子材料技术领域。本发明通过采用二乙醇胺和二乙烯三胺作为添加剂,解决了Y3+离子在酒精溶液的稳定性问题,实现了在生产或者实验中使用酒精替换甲醇作为溶剂的目的,并保证其稳定性:室温环境下至少达到2周,生产条件下至少达到1周,满足了超导带材阻挡层工业化生产的需要,提高了生产安全性。
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申请号:97107678.2 公开号:CN1211555 主分类号:C04B35/00
申请人:电子科技大学 申请日:1997.09.15 公开日:1999.03.24
摘要: 本发明属高温超导薄膜技术领域。由于本发明采用基片原位转动、速度可调、辐射加热、双面同时成膜的倒筒式直流溅射装置和优化的自外延制备方法,提高了膜的质量,使所制得的Y1Ba2Cu3O7-δ高温超导外延膜的性能优良;其Tco均大于90k,ΔTc均小于0.3k;基片两面的双面膜性能一致;其Tco相差小于0.5k,ΔTc相差小于0.5k,完全满足高频微波器件制做的要求。
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