摘要：本发明提供一种能对大面积基板进行均匀蒸镀的镀膜源及其真空镀膜装置。镀膜源，具有容器部和加热装置，还具有：蒸发气流调节部，为多孔层状结构，用于控制蒸发气流的方向和分布；蒸镀顶板，所述蒸镀顶板上设置有均匀分布的喷射口，用于喷射蒸发气流。本发明通过多孔多层结构的蒸发气流调节部，最大限度地扩大了蒸镀顶板的蒸镀面积，使材料尽可能均匀地沉积在基板表面，从而达到大面积高均匀性蒸镀的效果。当本发明对OLED进行有机材料真空镀膜时，特别是针对较大面积基板进行镀膜时，能够获得良好的图案精度和膜厚均匀的镀膜层，以确保OLED均匀的发光性能和色彩平衡。

摘要：本发明公开的一种应用于OLED显示技术领域的蒸发源主要包括蒸发舟和阻挡装置，阻挡装置包括阻挡盖和阻挡支架或阻挡盖组和阻挡支架，阻挡盖或阻挡盖组通过阻挡支架安装于蒸发舟的正上方，阻挡盖的直径大于蒸发舟横截面的直径。采用该蒸发源进行OLED基板蒸镀时，当处于基板传输、基板对位、腔体等待基板等非蒸镀工艺时，阻挡盖盖在处于蒸镀状态的蒸发舟上，被蒸发或升华的蒸镀材料全部凝聚在阻挡盖上，回收工艺非常简便；对于蒸镀材料包括主有机材料和掺杂材料的情况，由于蒸镀时，主有机材料和掺杂有机材料分别位于不同的蒸发舟中，对应不同的阻挡盖，只要回收时进行分别回收，则后续只需进行简单的分离提纯即可分别再次投入使用。

摘要：本发明公开了一种OLED面板减薄装置、减薄系统及减薄方法，本发明的OLED面板减薄装置主要包括旋转机架、流体导管及旋转机架腔，旋转机架固定安装于旋转机架腔内，流体导管的端口位于旋转机架中心位置的正上方，其原理是通过旋转机架旋转产生的离心力使刻蚀液由OLED面板的中心向外均匀扩散，进而实现OLED面板的刻蚀和减薄；本发明还公开了基于该OLED面板减薄装置的OLED面板减薄方法，该减薄装置及方法克服了浸泡式减薄中刻蚀液因污染造成减薄品质降低的不足，同时克服了喷淋式减薄中易形成凹点、刻蚀厚度不均等问题。

摘要：本发明的OLED缺陷检测装置包括机架、安装托板、姿态调节组件、检测调节组件、夹装背板和探针组件。安装托板通过固定关节与机架活动连接，具有竖直平面的旋转自由度；姿态调节组件连接于机架与安装托板之间，用于调节安装托板的倾斜度；所述夹装背板用于固定OLED显示屏，夹装背板与检测调节组件连接，检测调节组件固定安装于安装托板上，检测调节组件用于改变夹装背板与安装托板的相对位置；探针组件用于向OLED显示屏供电。有益效果在于当操作人员控制电机转动时，就可以根据个人的身高和操作习惯，调整OLED面板与水平面的倾斜角度。可有效减缓量产线上工作者的疲劳程度，提高工作效率并有效保证检测品质。

摘要：本发明的一种OLED基板切割保护装置包括基台、机械手、匚型石英盖板和回风装置；所述基台用于放置OLED基板，匚型石英盖板的尺寸与切割后的OLED基板相应，用于保护OLED基板；所述匚型石英盖板包括石英导管，石英导管连接氮气源。基板切割方法主要包括步骤：a、将OLED基板转运到切割基台上并固定；b、控制机械手将石英盖板固定于OLED基板上方0.3mm～0.5mm的位置，石英盖板之间为OLED基板切割区域；c、向所述匚型石英盖板的石英导管通入氮气。有益效果在于避免了基板直接接触而对OLED基板的影响。利用本发明的方法进行OLED基板切割能够有效防止切割过程中产生的微尘对裸露的基板电极的影响。