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1:[发明] 废气流的利用
申请号:03819985.8 公开号:CN1678517 主分类号:C01B3/04
申请人:英国氧气集团有限公司 申请日:2003.08.22 公开日:2005.10.05
摘要:在利用来自半导体加工步骤中的含氨废气流的方法和装置中,废气流中所含氨例如在反应器(3)中分解成氢和氮,这样获得的气流通过氢分离器(5)以从中分离出氢气,分离的氢气在净化器(8)中净化,且净化氢气循环用于半导体加工。该方法和装置通过允许循环半导体加工废气的成分而能有效利用这种废气。
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申请号:200480011682.0 公开号:CN1781345 主分类号:H05H1/24(2006.01)I
申请人:英国氧气集团有限公司 申请日:2004.04.16 公开日:2006.05.31
发明人:A·J·西利
摘要:描述了一种用于处理来自半导体制造加工工具的排出气体流的设备。所述设备包括用于由惰性可电离气体产生辉光放电的等离子体喷枪。所述气体流被输送至所述辉光放电处以使等离子体点火。电磁辐射源将电磁辐射供应至所述排出气体流以维持所述等离子体。所述设备特别适于处理所述排出气体流中的全氟化合物和氢氟碳化合物。
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申请号:200580005015.6 公开号:CN1917932 主分类号:B01D53/70(2006.01)I
申请人:英国氧气集团有限公司 申请日:2005.02.18 公开日:2007.02.21
摘要:一种处理含全氟化合物气流的方法,例如从半导体制造加工设备排放的流体流的处理方法。在一个实施例中,等离子焰炬用于从可电离气体,如氮气或氩气,产生等离子体。等离子注入到反应腔,其容纳有水蒸气流和排放的流体流。可电离的流体与全氟化合物反应使水蒸气分解为加热的H+和OH-离子。处理含全氟化合物的气流的装置包括从源气体产生等离子的机构,注入等离子到反应腔的机构,传输气体流到反应腔的机构,和传输H+和OH-离子源到等离子流的机构。
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4:[发明] 气体减排
申请号:200580024673.X 公开号:CN1989345 主分类号:F04C19/00(2006.01)I
申请人:英国氧气集团有限公司 申请日:2005.07.19 公开日:2007.06.27
摘要:描述了一种对来自工艺设备的排出流体流进行处理的低成本设备。在一个实施例中,所述设备包括减排装置(12)和用于对所述减排装置(12)至少部分地抽真空的液体环式泵(14)。在使用过程中,所述减排装置(12)将所述排出流的一种或多种组分如F2或PFC转化成对环境不那么有害的一种或多种可溶于液体内的化合物组分,例如HF。所述液体环式泵(14)接收所述排出流和液体,且排放出所述液体和所述排出流中的所述可溶于液体的组分的溶液。所述液体环式泵(14)因此作为湿式洗涤器和大气真空泵吸级进行操作。
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申请号:200780022578.5 公开号:CN101472666 主分类号:B01D53/68(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2007.05.23 公开日:2009.07.01
发明人:A·J·西利
摘要:从气流(1)中除去氟化气体的方法包括下列步骤:将含有氟化气体的气流(1)输送到燃烧区(2),在燃烧区(2)中分解氟化气体,使能与氟化气体分解产物反应的钙盐(4)夹带到气流中以与氟化气体分解产物反应形成氟化钙,然后从气流中除去(10)氟化钙盐。
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申请号:200880011473.4 公开号:CN101652607 主分类号:F23D14/16(2006.01)I
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2008.03.18 公开日:2010.02.17
发明人:A·J·西利
摘要:一种用于有害物质的燃烧式消除的装置,其包括被向内发火的有小孔的燃烧器(C32)的出射面所包围并包围着向外发火的有小孔的燃烧器(C42)的出射面的环形的燃烧区(C14),用于将包含至少一种有害物质的气流喷射到燃烧区中的器件(C12),以及用于将燃料气和氧化剂供应给有小孔的燃烧器以便在出射面处实现燃烧的器件。
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7:[发明] 生产气体减少
申请号:201480033061.6 公开号:CN105556211A 主分类号:
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2014.05.29 公开日:2016.05.04
发明人:A·J·西利
摘要:本发明公开了一种生产气体减少装置和方法。该生产气体减少装置包括:燃烧器,该燃烧器包括可操作用于可接收来自生产工艺工具的排出气体流的燃烧室,并在燃烧室内处于亚大气压的条件下对排出气体流进行处理,所述燃烧室进一步可操作用于接收燃料、氧化剂和稀释剂,所述燃料、氧化剂和稀释剂在所述燃烧室内可控燃烧来处理所述排出气体流以生成处理后的排出气流,所述稀释剂在所述处理后的排出气流中可压缩。通过以惰性可压缩气体的形式提供稀释剂,燃烧室内的体积增量减小,这减少了排出气流的体积并减少了二次泵的体积负载。所述体积增量的减少是由于在排出气流中的稀释剂变相导致的,这样可以从排出气流中有效地移除稀释剂组分。这导致了可观的能源节约,由于从燃烧室内产生的气体体积变得更小,而这些气体需要通过二次泵的方式被压缩到第二压力,例如大气压。
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申请号:201980076879.9 公开号:CN113015874A 主分类号:F23D14/12
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2019.11.21 公开日:2021.06.22
摘要:公开了一种减排方法。该方法包括:与燃烧反应物和稀释剂一起向减排装置的燃烧室供应含全氟化合物的排出物流;通过使所述燃烧反应物反应而加热所述燃烧室的燃烧区以实施将所述全氟化合物减排成稳定的副产物,选择所述稀释剂以在所述减排的过程中保持惰性。由此,在燃烧室中在燃烧反应物的燃烧过程中减少全氟化合物或其它化合物,但没有形成不期望的化合物,例如NOx或其它化合物。
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9:[发明] 气体吹扫阀
申请号:202080078988.7 公开号:CN114641637A 主分类号:F16K5/02
申请人:爱德华兹有限公司 申请日:2020.11.12 公开日:2022.06.17
发明人:A·J·西利
摘要:一种阀(100),包括:壳体(102),其具有至少一个入口(104a)和至少一个出口(104b);阀构件(108),其位于所述壳体(102)内并且能够在不同位置之间移动,以用于在使用中控制流体从所述阀(100)的入口(104a)到出口(104b)的流动;其中,所述阀(100)还包括:至少两个间隔开的阀座(110a、110b),所述阀构件(108)位于所述阀座中,以便形成由所述阀座(110a、110b)、所述阀构件(108)的外表面和所述壳体(102)的内表面界定的腔(112);第一导管(118),其在所述壳体(102)的外部与所述腔(112)之间延伸;以及在所述腔(112)与所述阀构件(108)的孔(114)之间延伸的第二导管(125),在使用中,吹扫气体能够通过所述导管(112、125)被引入到所述腔(112)和孔(114)中。优选地,吹扫气体被加压,并可选地使用筒式加热器(126)加热,以分别抑制工艺气体的逸出和冷凝。
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10:[发明] 调制冰茶用袋茶
申请号:98123437.2 公开号:CN1215575 主分类号:A23L3/30
申请人:雀巢制品公司 申请日:1998.10.23 公开日:1999.05.05
摘要: 一种配制冰茶饮料用袋茶。该袋茶含有约30%—约95%(重量)茶叶以及约5%—约70%(重量)干燥可溶性茶固体物组成的茶混合物。该袋茶可以被浸入冷水中在不足约10分钟内提供一种有合格颜色和香味的茶饮料。
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