摘要：用于评估与三维NAND存储器单元有关的中间产品的方法、非瞬态计算机可读介质和评估系统。评估系统可包括成像器和处理电路。成像器可配置成经由开放间隙获得属于中间产品的结构元件的一部分的电子图像。结构元件可以包括一系列层，所述一系列层可以包括顶层，所述顶层后跟交替的非导电层和凹陷的导电层。成像器可包括电子光学器件，所述电子光学器件配置成使用电子束扫描结构元件的一部分，所述电子束倾斜于开放间隙的纵轴。处理电路配置成基于电子图像评估中间产品。开放间隙(a)展现出高深宽比，(b)具有纳米量级尺度的宽度，并且(c)形成在中间产品的结构元件之间。